标题： 配气仪：三通电磁阀与质量流量计原理的详解及应用

内容：

配气仪，一款能够将两种及多种气体，按照特定比例精准混合并输出设定浓度气体的仪器。按其工作原理，主要可分为三通电磁阀原理和质量流量计原理两种类型。以下是它们的具体介绍：

一、三通电磁阀原理

采用单片机控制高速三通电磁阀，通过精准控制两路气体的通断，调节每一路气体的采样量，从而获取设定浓度的气体，实现气体配比。这种原理的配气仪适用于多种气体，精度高（可达1%），操作简便，价格相对亲民。对于常规气体，无需特殊设置或换算，即可直接使用。此外，仪器出厂前已根据气体种类和所需配比浓度进行了调试，无需再次调整。

二、质量流量计原理

质量流量计原理的配气仪由质量流量传感器、热式原件、质量流量调节阀和压力检测组件等组成。它利用流动的流体不同的流量效应而制成，原理是采用量热法原理测量气体的质量流量，并分别控制各自气体的流量，进入混合器进行精密混合，将混合后的气体按需输出给用气点。同时，设备自带多种测量原件对气体进行检测，确保混合的精确性。

这种原理的配气仪具有准确可靠、测量和控制精度高、零飘小、测量和控制范围宽等特点，且其准确度不受环境温度和外界压力的影响。因此，广泛应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域。

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通过对比两种原理的配气仪，我们可以看到它们在气体配比和测量控制方面的各自优势，为不同领域提供了更为精准和高效的气体解决方案。